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                新品 日立白光干涉显微下载镜VS1800

                • 型号 VS1800
                • 产地 日本
                • 样本 暂无
                • 品牌日立

                核心参数

                • 仪器种类 超高走势速激光共聚焦显微成像系统
                • 产地类别 进口仪器

                日立高新技术安卓版公司

                • 营业执照已审核
                • 品牌性质生产商
                • 白金会员第7年
                • 信用积分1942
                • 反馈速度21-24小时
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                400-803-2799 仪器软件信息网认证,请放心拨打
                日立白光干涉显平台微镜VS1800 创新点 产品介绍 相关新闻 用户评论

                创新点

                (1)高测々量性能 ?垂√直方向分辨率高 ?重现性好 ?测量速度快 ?测量视最新版野广 ?无损ξ 伤测量 (2)易注册于使用的操作界面◣ (3)ISO25178参数◆对比工具≡ (4)硬①件全面升级

                上市时间:2019年3月

                产品介绍

                    日立高新技术科学公司于2019年3月起,在中国开始销售利用光干涉原理进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学Ψ 干涉测量系统“VS1800”,该产●品搭配有支持多目的表面测量国际标准“ISO 25178*1参数对比工具,通过简单而准确的样品测量支持客户的分析业务邀请码,与此同时,凭借不断创新积累的三维测量性能,实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。

                  在半导体、汽车、食品、医药卐品等产业领域的材料研究和开发方面,为≡了提高产品的性能与功能,对产品表面的粗糙度、凸凹不平、翘曲等表面形状的评估变得尤其重要。以往,表↘面形态的测量方法,一般是采用触针式粗糙度测量仪♀等进行二维↓测量(线+高差),但近年来,伴随着材料的薄膜化和微细构造化★的加速,需要获取更多的信息,因此,采用扫描型白光干涉显微镜*2和激玩法光显微镜*3等进行三维测最新版量▲(面+高差)便得到了灵活应用。

                    此外,2010年◣制定了有关三维表面形态评估的国际标准ISO 25178,确立了评估方法,在这种背景下,实施三维测量的企业和研究机构等日益增多。因此,需要我们急切实现有关表面形态测量上的测量与分析的简单化以及〇应对多种样品的测量问题。

                    此次№发售的“VS1800”产品, 搭配了符合〇ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具。在ISO 25178标准中规定々了评估表面性状的32个项目的『参数,但在对比样品时▲,选择最适合评估的参数很◤难,成为分析业务官网的难题。“ISO 25178参数对比工具,通过按差异程度大小顺∴序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出最①适合对比样品的参数,从而支持客户的分析业务∮。

                此外,“VS1800” 产品,通过光干涉◥方法*4除了可实现大视野测量、0.01nm的垂直方向▅分辨率*5、高重现性◥外,亦通过日立高新技术苹果版科学自主研发的技术,继承了多层膜的无损伤测量等传统产品的高测量性邀请码能。此外,该产品还可搭配大倾斜△角测量选配 *6功能,通过捕捉大倾斜角斜面的微弱的干涉条纹变▂化,实现传统的光干涉方式官网无法实现的大倾斜角斜面测量╱,从而应对多种多样的样品表面性状的三维测量。

                  日立高新技术集团拥有可实现极微细〇样品的高分辨【率测量的原子力显微镜、扫描电子显微镜直㊣至大视野、高精度测量可app能的“VS1800”产品阵容,提供表面分析解◣决方案,从而满足▓客户的广泛需求。

                *1 ISO 25178:规定表面形态评估方法的国际标准。

                *2扫玩法描型白色干涉显微镜:利用光干涉原理进行非接触式、无损伤的表面形态测量的测量〖设备。

                *3激光显微镜:将激光作为光源技巧进行表面形态测量的测量设备。

                *4光干涉方法:是利用两列或两列以上』的光波相互叠加而出现光明暗(干涉条纹)现象(干涉)的检查方法。

                *5 0.01 nm的垂直方开奖向分辨率为Phase模式时的№性能。

                *6“大倾斜角注册测量选配为选▼择项目。

                 

                 

                【主要特点】

                (1)高测量ios版性能

                ?垂直方向分辨率:利走势用光干涉方法,通过独自的算法,实现0.01 nm*的垂直方向分app辨率

                ?重现性:利用干涉条纹测量凸凹的高度,通过←将来自Z驱动机构规律的影响最小化,实现0.1 %以下的重现性

                ?测量速度:由于不ω 需要样品的前处理,只要将样品≡放置在样品台上即可完成测量准备。通过光干下载涉方法最 快5秒钟即可完成测量

                ?测量视野:以从干涉条纹获取的信息为基础进行凸凹高开奖度的测量,由此可实现广范围(One-shot最 大6.4 mm×6.4 mm)测量与高垂直方向】分辨率的两者兼顾。此外,通过连接多个数据的图像走势,可进一步实现广范围的分析

                ?无损伤测量:通过日立高新技术科学自主研发☆的技术,对玻璃和薄膜等透明多层结构样品进行测▲量时,无需对样⊙品进行加工切割成截面,即可在无损伤的情况下官网,完成多层结构样品的各层厚度或异物玩法混入状况的确认以及缺分析等 

                 

                * Phase模式时

                 

                (2) 易于使用的操作界面邀请码

                采用直观易懂的平台操作界面,能够轻而▽易举地进行图像分析处理前后的图像对比,从而支持分析时的最合适图像处理选择。此外,可简单地列出处理与分析的内容、创技巧建独自的分析参数、重复使用分析参数♀等,并且还可批量处理数据,由此实现统一管理多个样品和分析邀请码结果,减轻繁琐复杂的后处理。

                 

                (3) ISO 25178参数对比工具

                在对比多个♀样品时,通过将ISO 25178标准中规∩定的32项参数值按差异的大小顺序重新排列,从而在样品∩对比时能够轻松选取最适参数,支持客户的分析业务。

                 

                (4) 硬件升级

                按每一台XY样品台的驱动方◥式,设计了3个类◇型的产品,即基础模式的手动型Type 1、电动型Type 2Type 3。从Type 1Type 2Type 3,均可根据不同的用途进行升技巧级。

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                • 生物∏显微镜 |
                • 红外显微苹果版镜 |
                • 偏光显微镜 |
                • 立体显微镜

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