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                纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800

                • 型号 VS1800
                • 产地 日本
                • 样本 暂无
                • 品牌日立

                核心参数

                • 仪器种类 超高速激光共注册送礼金聚焦显微成像系统
                • 产地类别 进口仪器

                天美(中国)科学仪器有限注册送礼金公司

                • 营业执照已审核
                • 品牌性质经销商
                • 白金会员第18年
                • 信用积分4134
                • 反馈速度15-18小时
                • 同类仪器1台
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                纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800 产品介绍 用户评论

                产品介绍

                产品介绍:

                纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象,对微细的表面↘形貌进行测量,可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配开户件、显示器等行业开户所要求的高精度测量。而且还能以ξ 无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。

                 

                 

                主要特点:

                n  采用光干涉方式,非接触测量

                n  3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量

                n  自动粗糙度参开户数选择(ISO25178

                n  毫米级开户大面积测量

                n  高精度测量(垂直方向分辨率0.01nm

                n  快速、高重复性测量

                n  多层薄膜和薄膜内层缺陷分析

                 

                照明系统

                卤素光源,波长530nm

                相机

                标准相机(640x480像素),高像素开户相机可选(1024x1024像素)

                物镜

                2.5x5x10x20x50x110x可选

                显微镜¤控制

                Z轴马达开户控制

                样品台

                Type1Tpye2Type3

                减震台

                被动式减震台★,主动式注册送礼金减震台可选

                扫描器

                机械马达扫描器,压电陶瓷扫描器可选

                测量软件

                VS-MeasureVS-Viewer

                 


                天美(中国)科学仪器有限公司

                仪信通白金会员18年

                常用搭配

                • 生物显微镜 |
                • 红外显微镜 |
                • 偏光显注册送礼金微镜 |
                • 立体显微∏镜

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